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光譜相(xiāng)關
其他(tā): 高能(néng)光(guāng)源
proLINE極(jí)紫外EUV光源(yuán)

產品(pǐn)型號:
更新(xīn)時間:2026-06-23
廠(chǎng)商性(xìng)質:代(dài)理(lǐ)商
訪(fǎng)問(wèn)量:74
服務(wù)熱綫(同(tóng)微信)
產品分(fēn)類
proLINE極紫外(wài)EUV光源
· 寬波長,高光通(tōng)量
· 寬(kuān)帶輸出或(huò)單(dān)色波長輸出(chū)
· 高可靠(kào)性(xìng),長期(qī)穩(wěn)定(dìng)運行的(dí) EUV 光源(yuán)
· 緊湊型(xíng)結構設計(jì)
德(dé)國 hp spectroscopy proLINE 是(shì)一(yī)款基於等離(lí)子體(tǐ)的 EUV 光源,可在(zài) 1–20 nm 的多種波(bō)長(cháng)範圍內提(tí)供(gōng)較高光(guāng)通量輸出。作(zuò)為一款(kuǎn)一(yī)站式係統,proLINE 使科(kē)研人(rén)員能夠(gòu)更(gēng)加專注(zhù)於實驗研(yán)究(jiū)本(běn)身(shēn)。該(gāi)光(guāng)源還(huán)可搭配(pèi)我們(mén)產(chǎn)品組合中的單色儀(yí)或診斷光譜儀(yí)使用。
proLINE 具(jù)有較高(gāo)的(dí)靈活(huó)性(xìng),可(kě)提(tí)供兩個或更(gēng)多輸出端口(kǒu),支持同時(shí)連接(jiē)至多條光束綫進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。此(cǐ)外,通(tōng)過(guò)氣(qì)體(tǐ)選擇和單(dān)色儀設置(zhì),可實(shí)現快(kuài)速且自動(dòng)化的波長切換(huàn)。
我(wǒ)們(mén)還可(kě)提供(gōng)定製(zhì)化(huà)版本(běn),包括集(jí)成單(dān)色儀(yí),聚(jù)焦(jiāo)單元(yuán)以及實驗靶站(zhàn)配置(zhì)等。proLINE 還可與(yǔ) X 射綫(xiàn)吸(xī)收光譜(pǔ)係(xì)統 proXAS 配套使用(yòng),構建(jiàn)多(duō)功(gōng)能(néng)測試(shì)平(píng)台(tái)。
proLINE極紫(zǐ)外EUV光源(yuán)特(tè)點(diǎn)
基於(yú)等(děng)離(lí)子(zǐ)體(tǐ)的(dí) EUV 光源(yuán)
· 高光(guāng)子通(tōng)量(liáng)
· 寬(kuān)帶輸出(chū)或單色化(huà)輸出(chū)
· 豐(fēng)富的(dí)波長選擇範圍
· 無(wú)電極結(jié)構(gòu)設計(jì),碎屑(xiè)汙染(rǎn)低
· 300 μm 光源(yuán)尺寸,實現(xiàn)高亮度
使用(yòng)方便(biàn)
· 緊湊(còu)型結構(gòu)設(shè)計(jì)
· 低(dī)使(shǐ)用(yòng)成本(氣(qì)體(tǐ)流(liú)量(liáng)消耗低(dī))
· 高可靠性,長(cháng)期(qī)穩定的EUV 光源
· 可(kě)選配集成(chéng)診(zhěn)斷(duàn)係統
應用
· EUV 計(jì)量檢測
· 掩模缺(quē)陷檢測
· 光(guāng)刻膠(Resist)研發(fā)
· EUV 顯微成像
· 水窗波段顯微(wēi)成(chéng)像
proLINE的(dí)典型等離(lí)子體發(fā)射光(guāng)譜(pǔ)。可通過氣體選擇和單色(sè)儀(yí)設置,實現快速(sù)且自動化的(dí)波(bō)長(cháng)切換。
采(cǎi)用(yòng)高可靠(kào)性激光(guāng)等離子(zǐ)體(tǐ)(Laser-Produced Plasma,LPP)技術的XUV光(guāng)源(yuán)。
能(néng)量(liáng)範圍:1 –20nm/60 – 1200eV
重復(fù)頻(pín)率:20 Hz
參(cān)數(shù)指標

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