性能特(tè)征：

　　1，X射(shè)綫激(jī)發係(xì)統：垂直上(shàng)照式X射(shè)綫光學(xué)係統。

　　2，快速，精確(què)的分析(xī)：大麵(miàn)積正比(bǐ)計數(shù)探測器(qì)和博曼(màn)儀器50瓦(wǎ)微聚(jù)焦(jiāo)X射綫光管(guǎn)（X射綫光(guāng)束(shù)強(qiáng)度大，斑(bān)點小，樣品(pǐn)激(jī)發(fā)佳）相結(jié)合(hé)。

　　3，準直(zhí)器程控交(jiāo)換(huàn)係統：可同(tóng)時(shí)裝(zhuāng)配4種規格的準(zhǔn)直器。

　　4，長期穩定(dìng)性：自動(dòng)熱補(bǔ)償功(gōng)能(néng)測(cè)量儀器(qì)溫度變(biàn)化並做修正，確(què)保(bǎo)穩定(dìng)的(dí)測試結(jié)果。

　　5，例行進(jìn)行簡(jiǎn)單(dān)快速的波譜校(xiào)準(zhǔn)：可自(zì)動檢(jiǎn)查儀器性(xìng)能（例如靈敏性）並進行必(bì)要(yào)的(dí)修(xiū)正(zhèng)，堅(jiān)固的(dí)工(gōng)業設(shè)計，可(kě)在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)綫上操(cāo)作。

　　6，簡單的元素(sù)區(qū)分(fēn)：通(tōng)過次(cì)級射綫濾(lǜ)波(bō)器分離元(yuán)素(sù)的重疊(dié)光譜(pǔ)，性能(néng)優(yōu)化(huà)。

　　7，可(kě)分析(xī)的元(yuán)素範(fàn)圍(wéi)大(dà)：預(yù)置800多種(zhǒng)容易選擇的(dí)應(yīng)用參數/方法。

　　8，測(cè)厚範圍可(kě)測定(dìng)厚度(dù)範圍(wéi)：取決(jué)於(yú)您的(dí)具(jù)體(tǐ)應用(yòng)，基本分(fēn)析(xī)功(gōng)能采用(yòng)基(jī)本參數(shù)法(fǎ)校(xiào)正(zhèng)。

　　9，樣(yàng)品種(zhǒng)類：鍍(dù)層(céng)，塗層，薄(báo)膜(mó)，液(yè)體(tǐ)(鍍液中的(dí)元(yuán)素含量(liáng))。

　　

　　半導(dǎo)體膜厚(hòu)測試儀(yí)精密(mì)度測試，精密度表示對同(tóng)一個(gè)對(duì)象進(jìn)行多(duō)次測(cè)量(liáng)，表征測(cè)試(shì)結果分散(sàn)程度的(dí)物(wù)理量，它是(shì)一(yī)個(gè)與多次(cì)測試數(shù)據的(dí)標準(zhǔn)偏(piān)差(chà)有(yǒu)關(guān)的物(wù)理量(liáng)。目(mù)前，對一組具有嵌套性或不具(jù)有嵌(qiàn)套(tào)性(xìng)的數(shù)據(jù)的(dí)標準(zhǔn)偏差求解問(wèn)題的(dí)研究已(yǐ)經相當成熟(shú)，對測量設(shè)備精密(mì)度的研究可以轉(zhuǎn)化為(wéi)對測量設備測試數據標準(zhǔn)偏(piān)差的求解(jiě)。使用成熟的(dí)數據(jù)處理方法(fǎ)研究比較新的(dí)高精度(dù)設備的(dí)精密度是一(yī)種簡單可行(háng)而(ér)又科學(xué)的(dí)方法(fǎ)。