棱(léng)鏡耦合(hé)測試儀主要(yào)用於電解(jiě)質和聚(jù)合物膜(mó)的(dí)厚度,折射(shè)率和波導參數(shù)的快速(sù)測量,適用於(yú)薄膜(mó)厚度在2-100µm的聚合物材料,矽基氧化膜,矽基(jī)玻璃(lí)膜(mó),在(zài)幹涉條紋(wén)產生的(dí)基礎(chǔ)上通過(guò)改變角度產(chǎn)生幹(gān)涉條紋的(dí)方法。對於(yú)厚膜折射(shè)率(shuài)的測量,單色光(guāng)被(bèi)直(zhí)接照射(shè)到被測樣品上(shàng),這樣,從薄(báo)膜(mó)表麵反(fǎn)射回來的(dí)光的幹涉(shè)小值(zhí)就會發(fā)生變化(huà),光的(dí)入(rù)射角(jiǎo)也(yě)會發生(shēng)變化(huà)。
測(cè)量原理(lǐ):
待(dài)測樣品(pǐn)通過一個空氣作用(yòng)的耦(ǒu)合探(tàn)頭與棱(léng)鏡基座(zuò)接(jiē)觸(chù),在薄膜與棱鏡之間(jiān)產生一個空氣(qì)狹(xiá)縫。一束激(jī)光(guāng)光束照射到(dào)棱鏡(jìng)基(jī)座上(shàng),通(tōng)常會(huì)在基座(zuò)上全反(fǎn)射進(jìn)入光電(diàn)探測器。在某(mǒu)一(yī)些入射(shè)角(jiǎo),稱為模式角,光子(zǐ)向(xiàng)下(xià)穿過空氣狹(xiá)縫(féng)進(jìn)入薄(báo)膜(mó),進入(rù)一(yī)種被引導(dǎo)的光(guāng)傳(chuán)播(bō)模式,使到(dào)達探測(cè)器(qì)的(dí)光(guāng)強(qiáng)度大幅降(jiàng)低。
棱鏡(jìng)鏡片的(dí)厚(hòu)薄(báo)差較大,在(zài)焦度(dù)計(jì)上打(dǎ)點和檢(jiǎn)測時需將棱鏡(jìng)jian端稍(shāo)抬起,使鏡(jìng)片的(dí)前表麵處於(yú)水(shuǐ)平(píng)位置,因為棱鏡(jìng)鏡片在(zài)磨邊(biān)裝(zhuāng)配過(guò)程中(zhōng)。考(kǎo)慮到(dào)美觀等(děng)因(yīn)素(sù),尖邊位置往(wǎng)往(wǎng)在厚端(duān)的(dí)靠(kào)外處(chǔ),也就是說(shuō)鏡片(piàn)的外(wài)表麵比裏麵(miàn)更接近(jìn)於水平綫,因而(ér)在(zài)鏡片(piàn)的視軸也更(gēng)接(jiē)近於(yú)外表麵(miàn)的光(guāng)軸,而(ér)不(bù)是裏(lǐ)表麵的光軸,所以這(zhè)個(gè)方向的(dí)度(dù)數應是實(shí)際有效距離,也就是說,焦(jiāo)距在這個(gè)方向的(dí)測量值(zhí)為實(shí)際有效距(jù)離。
該儀器可測量薄膜/基底(dǐ)的類(lèi)型(xíng),矽(guī)襯(chèn)底(dǐ)上幾乎任何(hé)透明或半透明材(cái)料(liào)的氧(yǎng)化(huà)物,氮(dàn)化物(wù),介質(zhì),聚合物或薄(báo)膜。可(kě)測量(liáng)的(dí)薄(báo)膜/襯底類型(xíng):氧(yǎng)化物,氮化物,介(jiè)電(diàn)材(cái)料(liào),聚合物,或矽(guī)襯底上(shàng)幾(jī)乎(hū)任何透明(míng)或(huò)半(bàn)透明(míng)材料的薄膜(mó)。
棱鏡耦合測試儀主(zhǔ)要(yào)應用領(lǐng)域:
1,光波(bō)導器件;
2,激光(guāng)晶(jīng)體(tǐ)材(cái)料(liào);
3,聚合(hé)物材料(liào);
4,顯示技(jì)術材料;
5,光(guāng)/磁存儲(chǔ)材料;
6,光(guāng)學薄膜。