隨著半導(dǎo)體(tǐ)製(zhì)程(chéng)進入到13.5nm 光源(yuán)波段
，激光功率(shuài)或能量(liáng)的(dí)檢測均(jūn)需要在(zài)超(chāo)高真空(kōng)環境下(xià)完(wán)成
，另(lìng)外還有一(yī)些(xiē)特殊應用比(bǐ)如說(shuō)高能物(wù)理粒子(zǐ)加(jiā)速(sù)器
，太(tài)空(kōng)或仿太空(kōng)環境檢測時(shí)均需要(yào)考慮(lǜ)超高真(zhēn)空(kōng)環(huán)境(jìng)。

1. 真(zhēn)空環(huán)境下(xià)使用(yòng)的(dí)激(jī)光功率能(néng)量計需要考(kǎo)慮(lǜ)的(dí)問(wèn)題

在(zài)為高(gāo)真空環(huán)境(jìng)設計(jì)激光功(gōng)率與能量傳感器時(shí)
，需解決(jué)以(yǐ)下若(ruò)幹(gān)問(wèn)題：氣體釋放(fàng)，散熱問題，信(xìn)號傳(chuán)輸及校準(zhǔn)。

氣(qì)體釋(shì)放outgasing 是所(suǒ)有(yǒu)高真(zhēn)空係統都(dū)必(bì)須(xū)麵對的問題(tí)。在真空(kōng)環(huán)境(jìng)下(xià)
，材(cái)料(liào)內(nèi)部或表麵(miàn)吸附的(dí)氣體(tǐ)分(fēn)子(zǐ)或者(zhě)可(kě)能揮(huī)發的物(wù)質會有逐漸(jiàn)釋放出(chū)來的(dí)過程(chéng)
，從而(ér)破(pò)壞(huài)真空度
，最根本的(dí)危(wēi)害(hài)是(shì)形(xíng)成一個可(kě)能的(dí)汙染(rǎn)源。所(suǒ)以如果需要將激(jī)光功(gōng)率(shuài)或能量探(tàn)頭(tóu)直接放置於真空(kōng)腔(qiāng)內(nèi)
，則此(cǐ)探頭就(jiù)需(xū)要具備與高真空(kōng)係統(tǒng)兼容(róng)的低(dī)氣(qì)體(tǐ)逸出速率。一(yī)般而言廠(chǎng)家會從(cóng)材(cái)料(liào)和結(jié)構(gòu)兩方(fāng)麵(miàn)進(jìn)行品控(kòng)。另外(wài)
，真(zhēn)空腔體利(lì)用(yòng)真(zhēn)空泵抽取真(zhēn)空(kōng)時
，往(wǎng)往(wǎng)采(cǎi)用(yòng)腔體加(jiā)熱(rè)的(dí)方(fāng)式加速附著(zhuó)於(yú)金屬表(biǎo)麵(miàn)的氣體分子(zǐ)揮發(fā)
，而傳(chuán)感器因吸(xī)收(shōu)激光輻(fú)射(shè)產(chǎn)生的熱(rè)量而導致探頭氣體逸出速率(shuài)增加起(qǐ)到(dào)了(liǎo)異曲(qū)同(tóng)工的(dí)作(zuò)用。

散(sàn)熱(rè)問(wèn)題(tí)上看
，顯然(rán)強製空氣冷卻在真空(kōng)環境下(xià)是不(bù)可能實(shí)現了
，一般(bān)可(kě)行(háng)的(dí)方案(àn)是通過(guò)導熱連接件(jiàn)直連真(zhēn)空(kōng)腔(qiāng)體的金(jīn)屬(shǔ)管壁(bì)做(zuò)散熱
，偶爾出現(xiàn)需(xū)要測(cè)試大功(gōng)率(shuài)激(jī)光的情況
，則會(huì)考(kǎo)慮增加(jiā)閉(bì)路(lù)循環強(qiáng)製冷卻。無論哪(nǎ)種(zhǒng)方(fāng)案
，都需(xū)要合理的設計(jì)熱(rè)管理措(cuò)施(shī)。

信(xìn)號(hào)傳輸方麵(miàn)
，顯(xiǎn)然(rán)不能直接(jiē)引用探頭(tóu)標配的信號綫(xiàn)連接(jiē)表頭(tóu)
，而需要采用(yòng)真(zhēn)空腔體適配(pèi)的轉(zhuǎn)接(jiē)頭Feed-Through 做(zuò)為中介(jiè)
，在不(bù)破(pò)壞(huài)真空(kōng)的條件(jiàn)下(xià)傳遞數(shù)據信號。