在紫(zǐ)外激光(guāng)領(lǐng)域，準分(fēn)子激光器憑借其短波(bō)長(cháng)，高光子(zǐ)能量和(hé)短(duǎn)脈(mài)衝(chōng)寬(kuān)度(dù)的特點(diǎn)，在半(bàn)導體製造，精(jīng)細(xì)加(jiā)工，醫(yī)療手術和科研檢(jiǎn)測(cè)等眾(zhòng)多場(cháng)景中(zhōng)扮演(yǎn)著(zhuó)的角色
。然而，傳(chuán)統(tǒng)的準(zhǔn)分子激(jī)光(guāng)器(qì)往往體(tǐ)積龐(páng)大，耗能高(gāo)，維護復(fù)雜，限(xiàn)製了(liǎo)其在許多(duō)實際應用場(cháng)景中(zhōng)的(dí)部署
。德國ATL Lasertechnik GmbH（ATL Lasertech）自(zì)1993年成立以來，一(yī)直專(zhuān)注(zhù)於(yú)小(xiǎo)型化(huà)，高重頻(pín)，短脈(mài)衝準分(fēn)子(zǐ)激光器的研發(fā)與(yǔ)生產
。

本(běn)文將圍(wéi)繞ATLEX-I係(xì)列準分(fēn)子激(jī)光(guāng)器，從(cóng)技(jì)術特點(diǎn)，應(yīng)用(yòng)場景(jǐng)和選型建(jiàn)議等角(jiǎo)度進(jìn)行係統(tǒng)介(jiè)紹，幫助讀者(zhě)了解這款緊湊(còu)型(xíng)準分子(zǐ)激光器的核心優勢及(jí)其(qí)適用(yòng)的業務場景
。

一，ATLEX-I準(zhǔn)分(fēn)子激光器：緊湊(còu)型紫外激(jī)光方案(àn)
ATLEX-I係列是ATL Lasertech麵向中(zhōng)低(dī)負荷(hé)應(yīng)用(yòng)推出的(dí)新(xīn)一代緊湊(còu)型風冷準分子激(jī)光器(qì)
。該係列(liè)可(kě)輸(shū)出五(wǔ)個常見(jiàn)波(bō)長：157 nm（F₂），193 nm（ArF），248 nm（KrF），308 nm（XeCl）以(yǐ)及(jí)351 nm（XeF），覆(fù)蓋(gài)了(liǎo)從深紫外(wài)到(dào)近(jìn)紫外(wài)的主要激光(guāng)譜(pǔ)綫
。根據(jù)重復(fù)頻率的不同，ATLEX-I分為(wéi)ATLEX-300-I（300 Hz），ATLEX-500-I（500 Hz）和ATLEX-1000-I（1000 Hz）三個型(xíng)號(hào)
。

（1）全風冷設(shè)計(jì)，主(zhǔ)動熱管(guǎn)理
ATLEX-I係(xì)列(liè)采用全風(fēng)冷(lěng)設計，無需額外配置水(shuǐ)冷係(xì)統(tǒng)，降(jiàng)低(dī)了設備部(bù)署(shǔ)成本和維護(hù)復雜度(dù)，也(yě)使得激光器(qì)能夠(gòu)靈活集(jí)成到不同的工作平台(tái)上(shàng)
。同(tóng)時，ATLEX-I還(huán)配備了主動(dòng)熱(rè)管理係(xì)統，確保了長時(shí)間連續工作(zuò)的(dí)熱穩(wěn)定性(xìng)
。
（2）金屬陶(táo)瓷(cí)反(fǎn)射腔(qiāng)技(jì)術(shù)（TMC Vessel）
ATLEX-I采(cǎi)用(yòng)全金屬(shǔ)-陶瓷反射(shè)腔體結構(gòu)，腔體(tǐ)全(quán)部(bù)由防鹵(lǔ)素和紫外(wài)光侵蝕的鋁(lǚ)合金及(jí)陶瓷製(zhì)造
。這種(zhǒng)設計顯(xiǎn)著提(tí)高了(liǎo)腔體的耐(nài)腐蝕性和氣密(mì)性(xìng)，同(tóng)時(shí)內(nèi)置(zhì)的(dí)靜(jìng)電(diàn)粉(fěn)塵(chén)吸附裝置(zhì)有效降低(dī)了(liǎo)窗口鏡片(piàn)受(shòu)汙(wū)染(rǎn)的(dí)概率(shuài)，延長了維(wéi)護周期
。
（3）軟(ruǎn)電(diàn)暈(yùn)預(yù)電離與全(quán)固態(tài)高壓(yā)開關(guān)
ATLEX-I采用(yòng)的(dí)軟電(diàn)暈預電離技(jì)術(shù)（Soft Corona Preionization），能(néng)夠在幾納秒(miǎo)的(dí)脈寬(kuān)條件下產生較大的單脈衝能(néng)量，並顯著(zhù)提(tí)升了所有高(gāo)壓部件(jiàn)的可靠(kào)性
。配(pèi)合全(quán)固(gù)態(tài)高壓開(kāi)關(guān)（Solid State Switch），激(jī)光(guāng)器(qì)整(zhěng)體(tǐ)電(diàn)氣可(kě)靠(kào)性(xìng)更高，電磁幹(gān)擾(rǎo)更低
。

（4）超緊湊的體(tǐ)積設計(jì)
ATLEX-I係(xì)列(liè)的(dí)激(jī)光頭(tóu)容積小(xiǎo)於(yú)3升，整(zhěng)機外(wài)形(xíng)尺(chǐ)寸為540×470×370 mm，重量約60 kg
。這(zhè)種(zhǒng)緊(jǐn)湊(còu)的設計使其在(zài)實(shí)驗室空(kōng)間(jiān)有(yǒu)限(xiàn)或需(xū)要設備集成的場(cháng)景(jǐng)中(zhōng)具備顯著(zhù)優勢
。
（5）集成(chéng)真空泵與鹵(lǔ)素過濾器
內(nèi)置的(dí)真空泵及鹵素過濾器便於氣體的更換(huàn)和管(guǎn)理，降低了設(shè)備(bèi)的(dí)日(rì)常維護工(gōng)作量
。
（6）激光(guāng)脈衝寬度：5-8 ns，短(duǎn)脈衝輸出有助(zhù)於實(shí)現高峰(fēng)值功率和(hé)精密(mì)加工
。
（7）光(guāng)束尺寸與(yǔ)發散(sàn)角(jiǎo)：光(guāng)束尺(chǐ)寸4×6 mm，發散(sàn)角1×2 mrad（全(quán)高半寬典(diǎn)型值），光束(shù)質量(liáng)均匀性(xìng)好
。
（8）能量穩定性：標準偏(piān)差(chà)值<3%，搭(dā)配能(néng)量(liáng)穩定(dìng)模式後(hòu)可(kě)進(jìn)一步(bù)提(tí)升輸出(chū)穩定(dìng)性(xìng)
。
（9）多種通(tōng)訊(xùn)接(jiē)口(kǒu)：配備RS485，RS232，USB及(jí)光纖接口，便(biàn)於係統集(jí)成(chéng)和(hé)遠(yuǎn)程控製(zhì)
。
（10）可(kě)衝洗光(guāng)具座(zuò)：便於定(dìng)期清理光(guāng)路(lù)中可能(néng)產(chǎn)生(shēng)的(dí)臭(chòu)氧(yǎng)和汙染物，延長光學器件(jiàn)的(dí)使(shǐ)用壽命(mìng)
。

二，       準分(fēn)子(zǐ)激光器(qì)的應用場景
準分子激(jī)光(guāng)器的高光(guāng)子能(néng)量(liáng)和短脈(mài)衝(chōng)特性(xìng)，使其(qí)在多個(gè)行業(yè)中(zhōng)具有不(bù)可替代的(dí)應(yīng)用價值(zhí)
。
半導(dǎo)體與(yǔ)微電子工業：193 nm和(hé)248 nm波長(cháng)的(dí)準分(fēn)子激光(guāng)被廣泛應(yīng)用於(yú)光(guāng)刻，晶圓劃片(piàn)，芯片(piàn)剝(bāo)離，微(wēi)孔加工和薄膜沉(chén)積(jī)等(děng)領域
。德國ATL Lasertech公(gōng)司(sī)產品係列中(zhōng)，ATLEX-I憑(píng)借穩定的輸(shū)出和緊(jǐn)湊(còu)的(dí)結構，適(shì)合集(jí)成到各(gè)類(lèi)半導(dǎo)體加工(gōng)設(shè)備中(zhōng)
。
醫療與眼科手術：在屈(qū)光(guāng)手術(shù)（如(rú)LASIK）領域(yù)，193 nm ArF準(zhǔn)分子(zǐ)激(jī)光是角(jiǎo)膜切(qiē)削(xiāo)的標(biāo)準光源
。ATLEX係列自1996年(nián)起就廣泛用於(yú)波前(qián)引導(dǎo)的屈光手(shǒu)術係統中
。
光纖(xiān)布拉格光(guāng)柵(zhà)（FBG）刻(kè)寫：193 nm和248 nm準(zhǔn)分(fēn)子(zǐ)激光憑(píng)借特(tè)殊的相幹(gān)性和(hé)短脈衝特性，與(yǔ)各(gè)類光(guāng)纖布拉(lā)格(gé)光柵(zhà)的(dí)寫(xiě)入工藝兼容(róng)
。ATL專(zhuān)門(mén)為(wéi)此(cǐ)優化(huà)了(liǎo)ATLEX-FBG係列產(chǎn)品，具(jù)備(bèi)均(jūn)匀的(dí)光斑分布和(hé)主(zhǔ)動(dòng)穩定(dìng)性控(kòng)製(zhì)等(děng)特性
。

微加工與(yǔ)激光剝蝕：準分(fēn)子(zǐ)激光短脈(mài)衝能(néng)量(liáng)為10-20 mJ，相當於兆瓦級(jí)峰(fēng)值功(gōng)率，可應(yīng)用(yòng)於(yú)生(shēng)物(wù)芯片，聚酯，玻璃，矽片(piàn)，薄(báo)金(jīn)屬，陶瓷等材(cái)料的(dí)精(jīng)密加工
。ATLEX-LR係列(liè)正(zhèng)是為(wéi)激光剝蝕應用(yòng)專門優(yōu)化設(shè)計(jì)，在193 nm波(bō)長輸出優(yōu)化(huà)，兼(jiān)具快(kuài)速(sù)上升沿(yán)和(hé)高峰值功(gōng)率(shuài)
。
TOF質(zhì)譜與光譜學(xué)：準(zhǔn)分子激光器的(dí)極(jí)短脈衝(chōng)（<4 ns）可用於(yú)光致電(diàn)離(lí)過程和(hé)高(gāo)精度TOF質(zhì)譜(pǔ)測量，與LA-ICP/ICP-MS質(zhì)譜(pǔ)儀(yí)聯(lián)用(yòng)是固體樣(yàng)品元(yuán)素分析的經典(diǎn)方案(àn)
。
此(cǐ)外，ATLEX-I係列(liè)還(huán)可廣(guǎng)泛(fàn)應用(yòng)於(yú)精(jīng)準(zhǔn)測(cè)量(liáng)，脈衝(chōng)激光(guāng)沉積（PLD）等領(lǐng)域，滿足(zú)科研與工(gōng)業用戶的多(duō)樣化需(xū)求
。

三，為(wéi)什(shí)麼選擇先鋒(fēng)泰坦選(xuǎn)購德(dé)國ATL Lasertech準(zhǔn)分子激光(guāng)器
先(xiān)鋒(fēng)泰(tài)坦（TEO）是(shì)德國(guó)ATL Lasertechnik GmbH在中(zhōng)國(guó)市場(cháng)的正式(shì)授權(quán)代(dài)理商(shāng)
。依(yī)托二(èr)十餘(yú)年的光(guāng)電(diàn)領域(yù)行(háng)業積累(léi)，先鋒(fēng)泰(tài)坦(tǎn)已(yǐ)建立(lì)覆蓋(gài)全(quán)國(guó)的(dí)銷售與(yǔ)服務(wù)網(wǎng)絡，在北京，上海(hǎi)，深圳，成都，西安和長春均設(shè)有(yǒu)辦事(shì)處(chǔ)
。從(cóng)選型(xíng)咨詢(xún)到售(shòu)後服(fú)務(wù)的全流(liú)程保障
。準(zhǔn)分子激光器(qì)的(dí)選(xuǎn)型涉及(jí)波(bō)長選(xuǎn)擇，重(zhòng)復(fù)頻率(shuài)，脈(mài)衝能量，冷卻(què)方式(shì)，集(jí)成(chéng)接(jiē)口等多個維(wéi)度的考量
。先(xiān)鋒(fēng)泰(tài)坦(tǎn)配備專(zhuān)業(yè)的(dí)技(jì)術支(zhī)持團隊，可(kě)以針對用(yòng)戶在半(bàn)導體(tǐ)檢(jiǎn)測，醫療(liáo)加工或科(kē)研(yán)實驗中(zhōng)的具體需求(qiú)，提供一對一的(dí)選型建議和(hé)產(chǎn)品推(tuī)薦(jiàn)
。