德國Xiton 公(gōng)司的(dí)Ixion-193-SLM激光器(qì)的特點：

- 使用超級簡(jiǎn)便：用戶(hù)隻(zhī)需在圖(tú)形(xíng)化的(dí)軟(ruǎn)件界(jiè)麵上即可完成(chéng)操作

- 可適應(yīng)7天(tiān)24小(xiǎo)時(shí)工業(yè)化應(yīng)用(yòng)

- 窄綫(xiàn)寬，長(cháng)相幹長(cháng)度

- 標(biāo)準輸(shū)出193.368nm，下單(dān)前(qián)可(kě)提前定製190-195nm範圍間(jiān)任(rèn)意(yì)波(bō)長值。

- 波長在10pm(80GHz)範(fàn)圍內可調諧

- 可增(zēng)配(pèi)內置波(bō)長計(jì)監測波長調諧(xié)的(dí)絕(jué)*值

產品規格

那麼(mó)建(jiàn)議用戶(hù)如何(hé)選配和(hé)下單呢？

下單前可(kě)提前定製190-195nm範(fàn)圍間(jiān)任意(yì)波(bō)長(cháng)值是如何實(shí)現(xiàn)的：

Ixion-193-SLM深(shēn)紫(zǐ)外(wài)窄(zhǎi)綫寬全(quán)固(gù)態激光器(qì)是基於(yú)兩(liǎng)台(tái)單頻種子激光(guāng)做(zuò)倍頻與和(hé)頻(pín)處理(lǐ)後(hòu)獲(huò)得(dé)，我們(mén)列(liè)舉一(yī)些簡單運算：

1064nm一(yī)號種子激光五(wǔ)倍頻到(dào)213nm；再(zài)和二(èr)號1760nm種子(zǐ)激光和頻,即(jí)可(kě)得(dé)到(dào)單頻的190nm激(jī)光(guāng)

1064nm一號種子激光(guāng)五倍頻到(dào)213nm；再和(hé)二(èr)號(hào)2308nm種(zhǒng)子激光和頻,即(jí)可得到單(dān)頻的(dí)195nm激光(guāng)

需要說(shuō)明的是，二號1760nm種子激光和(hé)二號2308nm種子(zǐ)激(jī)光(guāng)不(bù)是(shì)同(tóng)一台激(jī)光(guāng)，對於用(yòng)戶而(ér)言，下(xià)單前(qián)可(kě)提(tí)前定(dìng)製190-195nm範(fàn)圍間(jiān)任意(yì)波長(cháng)值(可(kě)精(jīng)確到(dào)小數點後第(dì)三位）；廠家(jiā)接(jiē)單後即(jí)可(kě)選擇(zé)一(yī)號與二號種子激(jī)光的(dí)波(bō)長(cháng)組(zǔ)合(hé)，達(dá)成客(kè)戶(hù)指定(dìng)的指(zhǐ)標，下單即(jí)意(yì)味(wèi)著(zhuó)確(què)定一個固定的(dí)中心(xīn)波長(cháng)了(liǎo)。

我(wǒ)們(mén)以訂購(gòu)量多的ArF準分子(zǐ)激(jī)光特征譜綫193.368nm波(bō)長來(lái)舉(jǔ)例說明(míng)：  

1064nm波段我們定(dìng)義為(wéi)種子(zǐ)激(jī)光(guāng)一號，比如這(zhè)台(tái)激(jī)光我(wǒ)們(mén)把它穩頻(pín)到(dào)1064.4nm波(bō)長，後麵組建5倍(bèi)頻光路(lù)，獲得(dé)5倍頻輸(shū)出為212.88nm；

我(wǒ)們再選(xuǎn)擇一(yī)台2100nm波(bō)段(duàn)的種(zhǒng)子(zǐ)激(jī)光二號，並將其(qí)調(tiáo)諧穩(wěn)頻(pín)到(dào)2109.7nm,與(yǔ)剛才的5倍頻(pín)輸出的212.88nm組(zǔ)建和(hé)頻(pín)光(guāng)路，即可獲得193.3681nm單頻輸(shū)出。

如果(guǒ)1064nm種子激(jī)光(guāng)一號的中(zhōng)心波長稍(shāo)有(yǒu)變化，相(xiāng)應(yīng)改變種子激光(guāng)二號的(dí)波長仍(réng)可(kě)達成(chéng)193.368nm單(dān)頻激光輸出的目(mù)標。

到(dào)貨(huò)後(hòu)Ixion-193-SLM激(jī)光器(qì)80GHz（10pm）的(dí)波長(cháng)可調(tiáo)諧是如何實現(xiàn)的：

從機(jī)理(lǐ)來(lái)說，調諧(xié)1064nm一號種(zhǒng)子(zǐ)激(jī)光(guāng)或2100nm二號種子激(jī)光(guāng)均可(kě)能達成(chéng)最終193.368nm激(jī)光(guāng)在10pm(即(jí)80GHz）範(fàn)圍內波長可調；但合理(lǐ)的選擇(zé)是調(tiáo)諧2100nm二號種(zhǒng)子激光。

原(yuán)因很簡(jiǎn)單(dān)，舉(jǔ)例(lì)來說，如(rú)果調(tiáo)諧了(liǎo)1064nm一號種子激光(guāng)10GHz，就意味(wèi)著五(wǔ)倍頻(pín)213nm輸出(chū)的50GHz的變(biàn)化，首先(xiān)很容易(yì)喪失穩(wěn)頻(pín)狀(zhuàng)態(tài)而(ér)需(xū)要(yào)重新穩頻(pín)；其次(cì)1064nm基頻調諧(xié)後意(yì)味著二倍(bèi)頻(pín)到(dào)三倍頻到(dào)五(wǔ)倍頻的聯動(dòng)調(tiáo)諧，耗時更長且配(pèi)合(hé)復雜。

所以(yǐ)*合(hé)理的方法(fǎ)是(shì)調(tiáo)諧(xié)2100nm二號種(zhǒng)子激(jī)光的波(bō)長(cháng)後(hòu)，與保持(chí)不變(biàn)的1064nm波(bō)段一號種(zhǒng)子(zǐ)激光(guāng)五倍(bèi)頻後(hòu)的213nm激(jī)光和(hé)頻(pín)，達到最(zuì)終193.368nm單頻(pín)激(jī)光輸(shū)出10pm(即80GHz）範(fàn)圍內波長可調(tiáo)的目(mù)的(dí)。

增配選項Option 4-LP可為(wéi)用戶(hù)拓(tuò)展波(bō)長可調諧範圍到(dào)70pm(即560GHz)：

如果用(yòng)戶(hù)認為標準(zhǔn)係統的10pm（80GHz）波(bō)長調(tiáo)諧範(fàn)圍不(bù)夠，客(kè)戶可(kě)增配選(xuǎn)項(xiàng)Option 4-LP可(kě)為(wéi)用戶拓展(zhǎn)波長可(kě)調(tiáo)諧範圍到(dào)70pm(即560GHz)。實際(jì)上是廠家出廠前(qián)提前校準了四組種子激光(guāng)一(yī)號與(yǔ)種子激(jī)光二號的工(gōng)作(zuò)參數(shù)，此後(hòu)用戶就可以調(tiáo)用四(sì)組(zǔ)參(cān)數(shù)，分別(bié)可(kě)達成(chéng)4段(duàn)範圍的(dí)波長(cháng)調諧，以擴(kuò)展波長調諧範(fàn)圍(wéi)。大致工(gōng)作模式是(shì)先調(tiáo)用參數，調(tiáo)諧(xié)種(zhǒng)子激光(guāng)一(yī)號(hào)到(dào)一(yī)個新的(dí)波(bō)長，重新溫度相位(wèi)匹配(pèi)二到五(wǔ)倍頻，調(tiáo)諧(xié)種子激光(guāng)二號(hào)再(zài)和頻達(dá)成新波(bō)段調諧。對(duì)於193.368nm標注(zhù)型號(hào)10pm可調諧範圍(wéi)產(chǎn)品而言，增購(gòu)了(liǎo)Option 4-LP選(xuǎn)項(xiàng)大致可在193.330nm到193.400nm範圍(wéi)內(nèi)70pm可(kě)調(tiáo)諧。

增(zēng)配(pèi)選(xuǎn)項Option WL-Scan可為用(yòng)戶(hù)拓展(zhǎn)波長(cháng)掃描(miáo)功能(néng)：

我(wǒ)們把Xiton公(gōng)司(sī)的(dí)xLASER激光(guāng)控製軟件右(yòu)上部分(fēn)放大(dà)給您看(kàn)，這個角(jiǎo)落就是WL-Scan波長掃描(miáo)參數控製欄，您(nín)可以設(shè)置(zhì)波長調諧(xié)的起始和(hé)終(zhōng)了(liǎo)位置，波長掃(sǎo)描步(bù)長(cháng)（最小10fm)和(hé)間(jiān)隔(gé)時間(jiān)。

需要(yào)說明的是Ixion-193-SLM所有相位匹配（從倍(bèi)頻到(dào)五倍頻(pín)，以及(jí)*後一級(jí)的(dí)和頻）均采(cǎi)用溫(wēn)度匹(pǐ)配方(fāng)式(shì)。溫度(dù)匹配(pèi)的(dí)突出優點是穩(wěn)定(dìng)，但(dàn)相(xiāng)對(duì)的缺點是耗時較(jiào)長(cháng)。您大致(zhì)可以(yǐ)按(àn)溫(wēn)度匹(pǐ)配(pèi)需要2秒(miǎo)時間預估，也就(jiù)是(shì)說WL-Scan波長掃描(miáo)每(měi)一(yī)步均需(xū)要2秒(miǎo)以上的時間(jiān)。

增(zēng)配內(nèi)置(zhì)波長計選(xuǎn)項(xiàng)Option Wavemeter：

我們仍(réng)然(rán)用Ixion-193-SLM出貨(huò)量(liáng)*大(dà)的193.368nm最(zuì)終輸(shū)出波(bō)長為例(lì)：用(yòng)戶增配的(dí)內置波長計選(xuǎn)項Option Wavemeter實(shí)際上是在(zài)激光器內部增加了(liǎo)兩台激(jī)光(guāng)波長計，同時檢測一(yī)號(hào)種子激光（1um seeder)和二(èr)號(hào)種子(zǐ)激(jī)光（2um seeder)，並(bìng)根據(jù)以(yǐ)上兩(liǎng)個實測(cè)值換算(suàn)出激光(guāng)器(qì)最終輸出值;見(jiàn)本實(shí)例圖。實測到(dào)當下(xià)一號種(zhǒng)子(zǐ)激光(guāng)（1um seeder）的(dí)輸出為1064.430421nm，也(yě)就是(shì)說5倍頻後(hòu)的輸(shū)出(chū)為(wéi)212.886084nm；此(cǐ)5倍頻輸出與二號種子激光（2um seeder)2109.089276nm和(hé)頻，運算(suàn)結果(guǒ)即(jí)為(wéi)最終(zhōng)輸(shū)出值193.368011nm。

小結如(rú)下，從設備(bèi)選(xuǎn)型(xíng)上(shàng)看： 

 Ixion-193-SLM設備(bèi)內(nèi)部(bù)選型(xíng)主要考量在(zài)平(píng)均功率與(yǔ)光(guāng)譜(pǔ)綫(xiàn)寬上做(zuò)權衡。

增配(pèi)內置波長計(jì)選(xuǎn)項Option Wavemeter一(yī)般是首先考慮的(dí)選項，可以實時(shí)測(cè)量當(dāng)前激光(guāng)輸(shū)出(chū)波(bō)長值(zhí)。Xiton公(gōng)司在激光器出廠(chǎng)時標(biāo)定激(jī)光(guāng)器(qì)輸(shū)出(chū)波長準(zhǔn)確度(dù)到(dào)1pm，舉(jǔ)例193.368nm；隨(suí)著(zhuó)激(jī)光(guāng)器的長時間工作(zuò)，波(bō)長(cháng)會逐漸有(yǒu)微(wēi)小的漂移(yí)，長期漂移(yí)量約5-10pm；如(rú)果沒有內(nèi)置波(bō)長(cháng)計選項Option Wavemeter，用(yòng)戶無法知道(dào)當前(qián)具體漂(piāo)移了(liǎo)多(duō)少。

再根據(jù)需要考慮(lǜ)是否增加波(bō)長(cháng)掃(sǎo)描(miáo)Option WL-Scan選項和擴(kuò)展(zhǎn)掃(sǎo)描波段Option 4-LP選項

先鋒科(kē)技作(zuò)為 Xiton Photonics 中國區(qū)核心合作(zuò)夥伴與授(shòu)*服(fú)務商，重磅(bàng)引入並(bìng)提(tí)供 Xiton 深(shēn)紫外納(nà)秒固(gù)體(tǐ)激(jī)光(guāng)器(qì)等(děng)多款旗艦產(chǎn)品的銷(xiāo)售(shòu)，技(jì)術支持與(yǔ)一體(tǐ)化解(jiě)決方(fāng)案，助力(lì)國內科研院所，半導(dǎo)體(tǐ)及精(jīng)密(mì)檢測行(háng)業發(fā)展，讓(ràng)國內(nèi)客(kè)戶(hù)同(tóng)步享(xiǎng)有德(dé)國原廠(chǎng)的激光技術(shù)與高品質保(bǎo)障(zhàng)。