國McPherson公(gōng)司是(shì)一家(jiā)專(zhuān)業的光譜設(shè)備(bèi)生產(chǎn)廠(chǎng)商(shāng)，公(gōng)司(sī)位於波士頓西(xī)北(běi)部(bù)的Chelmsford。自1954年(nián)為美國(guó)空氣(qì)動力(lì)實(shí)驗(yàn)室提供第(dì)一套光譜儀(yí)，服務於航空(kōng)航天(tiān)研究(jiū)領域(yù)，60多(duō)年來，McPherson一直(zhí)致力於(yú)為(wéi)全世*的研究院(yuàn)所提供(gōng)**流的光(guāng)譜測試(shì)設備(bèi)。在McPherson的客戶名單(dān)上，包括美(měi)國(guó)NIST，中(zhōng)國TOKAMAK設備(bèi)，貝(bèi)爾實驗室，歐(ōu)洲(zhōu)聯合杯JET，奧(ào)斯丁核聚變(biàn)反應堆(duī)等世(shì)界(jiè)上(shàng)眾(zhòng)多*流的研究機構。

McPherson公司已形成(chéng)一條成熟(shú)完整(zhěng)的產(chǎn)品(pǐn)綫，涵(hán)蓋(gài)從紅外，可(kě)見光(guāng)，紫外，極(jí)紫(zǐ)外(wài)（EUV），真(zhēn)空紫(zǐ)外（VUV）直至軟X射綫（SXR）波(bō)段(duàn)的所有領(lǐng)域(yù)（光譜範圍從＜1nm至78μm）。其(qí)所生產的設備包括(kuò)從(cóng)小型光譜儀到(dào)20多噸重(zhòng)，30多米長(cháng)的(dí)大係統(tǒng)。光譜(pǔ)儀(yí)有的(dí)在太空飛(fēi)行, 也有的可(kě)以裝入口袋。這些光譜(pǔ)儀(yí)光(guāng)路設(shè)計包括(kuò)正(zhèng)入射(shè)，掠入射(shè)，Criss-Cross，Czerny-Turner，Corrected Czerny-Turner，Seya-Namioka結(jié)構以(yǐ)及(jí)McPherson和Schoeffel 專(zhuān)*設(shè)計，同(tóng)時承接光譜儀和光譜光度(dù)計(jì)的定製設(shè)計(jì)。

此外，McPherson也提供(gōng)各種(zhǒng)光譜儀相(xiāng)關配件，如：標準光(guāng)源，氙燈，氘(dāo)燈(dēng)，鎢(wū)鹵素燈，汞燈，空心(xīn)陰極燈，氣(qì)體放電燈(dēng)，單陽極/多(duō)陽極(jí)軟X射綫源等
；標準參考(kǎo)探(tàn)測器(qì)，可覆(fù)蓋真(zhēn)空紫外-紅外波(bō)段
；各(gè)種組件(jiàn)，多通(tōng)道光(guāng)纖（多(duō)達100多通(tōng)道(dào)），耦合(hé)器(qì)，準(zhǔn)直器(qì)，真(zhēn)空樣品室(shì)，超(chāo)高真空(kōng)組件等。

在McPherson所有(yǒu)的(dí)產品(pǐn)中(zhōng)，除了傳(chuán)統C-T結(jié)構光譜儀(yí)以及超高分(fēn)辨率光譜(pǔ)儀以外，最富盛名(míng)的(dí)就(jiù)是其(qí)真空紫外和軟X射綫光譜(pǔ)儀以(yǐ)及基於(yú)該類(lèi)光譜(pǔ)儀(yí)而開發(fā)的一(yī)係列產(chǎn)品，如：真空紫(zǐ)外(wài)分(fēn)光光(guāng)度計，真空紫外可調(tiáo)單色光源(yuán)，VUV熒(yíng)光粉(fěn)測(cè)試係統，UV-VIS-IR光(guāng)譜(pǔ)校準測(cè)試(shì)係統等(děng)，特(tè)別(bié)是此(cǐ)類產(chǎn)品在全(quán)世*同(tóng)步加速器以(yǐ)及核聚變研(yán)究方麵(miàn)的應用，已經(jīng)成(chéng)為(wéi)了(liǎo)光(guāng)譜測試領域的傳(chuán)奇。

McPherson部分客戶

McPherson製造(zào)的光譜(pǔ)儀可以在(zài)極(jí)短的(dí)光波長下工(gōng)作，從波(bō)長(cháng)小(xiǎo)於1nm，到(dào)可見光範(fàn)圍，其分析和(hé)診斷儀(yí)器適合您的應(yīng)用，例(lì)如(rú)，針(zhēn)對工作在(zài)高(gāo)次(cì)諧波（HHG）激光診斷(duàn)，先進(jìn)半(bàn)導體極紫外(wài)測量和分析(xī)，高溫軟(ruǎn)X射綫等(děng)離子(zǐ)體(tǐ)物(wù)理(lǐ)診斷(duàn)，超(chāo)高（UHV）或(huò)高真空(kōng)應(yīng)用。McPherson生(shēng)產開發了大量的光譜儀(yí)型號和光學設(shè)計。以(yǐ)下是(shì)在許(xǔ)多(duō)光譜學學(xué)科中(zhōng)廣受歡(huān)迎(yíng)的四(sì)種(zhǒng)光(guāng)譜儀(yí)，這(zhè)四種(zhǒng)光(guāng)譜儀(yí)專為軟X射(shè)綫和超快極(jí)紫外(wài)光子源和激光(guāng)係(xì)統(tǒng)的分(fēn)析和(hé)診斷光譜計(jì)量(liáng)開發，可進(jìn)行(háng)0.5到500nm以(yǐ)上(shàng)的光(guāng)學測量(liáng)。

一(yī)，用於(yú)測(cè)量低能(néng)量(liáng)深(shēn)紫(zǐ)外光波長(cháng)（50-500nm）

主(zhǔ)要為(wéi)234/302型(xíng)號，這(zhè)是(shì)一(yī)個(gè)非常(cháng)好的(dí)儀(yí)器(qì)，可(kě)從紫外波段(duàn)覆(fù)蓋至(zhì)波長30nm，兼顧(gù)掃描應(yīng)用和直接探測CCD快(kuài)速采集光譜。如果您需(xū)要(yào)更高(gāo)的光譜(pǔ)分(fēn)辨率(shuài)，可以考慮型號235或(huò)型號225用於相同的(dí)波(bō)長範圍(wéi)。

234/302實(shí)物圖

234/302——像差校正真空光譜(pǔ)儀，主要(yào)特點：

l 可(kě)搭(dā)配CCD或MCP像增(zēng)強(qiáng)器的(dí)真空光(guāng)譜(pǔ)儀

l 工(gōng)作(zuò)於30nm-VUV波段

l 高(gāo)光(guāng)通量(liáng)，f/4.5

l 可選擇——塔(tǎ)輪，多出(chū)口，超(chāo)高(gāo)真空(kōng)（UHV）

234/302實(shí)物圖(tú)及(jí)多(duō)種(zhǒng)類(lèi)型可選

係統(tǒng)示例：基於(yú)234/302的真(zhēn)空紫外分光(guāng)光(guāng)度(dù)計

光譜(pǔ)實測(cè)數據：

電(diàn)離氦，氖發(fā)射(shè)光譜(pǔ)測試

200nm以下(xià)氘燈光譜測試

真空(kōng)紫(zǐ)外氫(qīng)光譜測試

2400g Pt＆1200g Al+MgF2

注(zhù)：采(cǎi)用(yòng)234/302像差(chà)校(xiào)正(zhèng)光柵搭配(pèi)直(zhí)接(jiē)探測CCD采集(jí)氘(dāo)燈(dēng)光(guāng)譜，光(guāng)源為(wéi)帶氟化鎂(měi)光(guāng)窗(chuāng)的氘燈(dēng)
；對於氫，氦和(hé)氖，光源是(shì)McPherson 629型號(hào)空心陰極燈
；電離(lí)氦(hài)，氖(nǎi)掃描光譜測試，采(cǎi)用(yòng)VUV矽(guī)探(tàn)測(cè)器及(jí)凹麵(miàn)像差校正(zhèng)的單(dān)色(sè)儀(yí)光柵（2400 g/mm鍍(dù)Pt塗(tú)層(céng)和(hé)1200 g/mm鍍Al+MgF2塗(tú)層）。

235與225型號(hào)真(zhēn)空(kōng)光譜儀

二，針對高能光譜（1-300nm）的分(fēn)析(xī)和(hé)診(zhěn)斷(duàn)

真(zhēn)空(kōng)紫(zǐ)外（VUV）248/310型號符(fú)合(hé)要求，它可搭配(pèi)單(dān)點(diǎn)探測器(qì)或(huò)作為一(yī)種采用凹球麵(miàn)光(guāng)柵(zhà)的掃(sǎo)描單色儀(yí)，狹縫或(huò)探(tàn)測器沿羅蘭(lán)圓掃描，它(tā)可(kě)配置直接(jiē)探(tàn)測CCD，MCP像(xiàng)增強(qiáng)器(qì)一(yī)起(qǐ)工(gōng)作(zuò)，當(dāng)與光譜光(guāng)源(yuán)集成時，可以(yǐ)成(chéng)為可(kě)調光(guāng)源，適用(yòng)於(yú)半導體(tǐ)，空(kōng)間科學，天(tiān)體物(wù)理學等(děng)領域的(dí)計量和校準(zhǔn)。

248/310搭配(pèi)直(zhí)接探測(cè)CCD

248/310搭配MCP像(xiàng)增強器及CCD

基於248/310的可調光源(yuán)

注：McPherson掠(lüè)入(rù)射光譜(pǔ)儀可以(yǐ)多(duō)種配(pèi)置以(yǐ)滿(mǎn)足應用或(huò)實驗(yàn)要(yào)求。如(rú)：為了診(zhěn)斷(duàn)瞬態(tài)等離(lí)子體，用戶可(kě)能需要(yào)快速(sù)收(shōu)集一(yī)係列數(shù)據(jù)，並盡(jìn)可能(néng)具有良(liáng)好(hǎo)的(dí)時(shí)間分(fēn)辨(biàn)率， 本(běn)儀器(qì)可配(pèi)備具有選通(tōng)能力(lì)的(dí)MCP像增強(qiáng)器
；為了監測(cè)一個(gè)窄(zhǎi)的光譜區(qū)域(yù)（如FEL，HHG X射(shè)綫(xiàn)激(jī)光器(qì)），配置(zhì)CCD可(kě)以用於高分辨率的直接探(tàn)測， CCD讀出(chū)需(xū)要(yào)更(gēng)長的時間，但它們提供(gōng)了優異的(dí)靈敏度和響(xiǎng)應(yīng)範圍(wéi)
； 對(duì)於測(cè)試材(cái)料反(fǎn)射(shè)/透(tòu)過(guò)率或(huò)在(zài)軟X射(shè)綫和極(jí)紫外(wài)波(bō)段(duàn)的校準，248/310可以設置(zhì)反向，掃描源(yuán)及(jí)提(tí)供特(tè)定波(bō)長(cháng)的(dí)樣品或(huò)部(bù)件用(yòng)於(yú)測試。 

248/310——SXR和EUV羅(luó)蘭(lán)圓(yuán)單色(sè)儀，主要(yào)特點：

l 羅(luó)蘭圓光學(xué)係(xì)統

l 1nm到(dào)310nm波段範(fàn)圍

l 支持(chí)掃描狹縫，直接探測(cè)CCD，MCP配置

l 多種光柵可選

三，以高(gāo)能(néng)光(guāng)譜(pǔ)診斷(duàn)為目標(biāo)（0.5-150nm）

251MX型號是(shì)一個輕(qīng)鬆(sōng)的(dí)解(jiě)決方案。它使(shǐ)用像差(chà)校正的(dí)衍(yǎn)射(shè)光柵，在直接(jiē)探(tàn)測(cè)CCD（或(huò)門(mén)控MCP像增(zēng)強器(qì)）上(shàng)產生25毫米(mǐ)寬的(dí)平場(cháng)。多種衍射(shè)光柵可供(gōng)選擇，且可同(tóng)時安(ān)裝兩塊衍(yǎn)射(shè)光柵以(yǐ)提高軟X射綫(xiàn)覆(fù)蓋(gài)範(fàn)圍。該(gāi)XUV光(guāng)譜(pǔ)儀(yí)活(huó)動部(bù)件少(shǎo)，在軟(ruǎn)X射綫（SXR）和真(zhēn)空紫外(wài)波(bō)段(duàn)內易於使用。

251MX實物及結(jié)構圖(tú)

251MX——XUV，SXR和(hé)EUV平場光譜(pǔ)儀(yí)，主要(yào)特(tè)點(diǎn)：

l 像差(chà)校正光柵(zhà)

l 平(píng)場，直(zhí)接用(yòng)MCP或CCD探(tàn)測

l 快速(sù)光(guāng)譜數據采(cǎi)集

l 高(gāo)真空度10^-6 torr

l 可選(xuǎn)——超高真(zhēn)空（UHV）

    實測(cè)光(guāng)譜數(shù)據(jù)示(shì)例：

雙(shuāng)離子氦光譜測試

氦和氫光譜(pǔ)測(cè)試(shì)

氬(yà)I和(hé)II離子(zǐ)光譜測試(shì)

氦氖(nǎi)混(hùn)合氣體(tǐ)光譜(pǔ)測試(shì)

MgO光(guāng)譜(pǔ)測試(shì)

Al-K光(guāng)譜(pǔ)測試

注：MgO光譜是(shì)用251MX型(xíng)號配(pèi)置CCD探測(cè)的
；300g/mm光柵(zhà)用(yòng)於(yú)氦和(hé)氫數據
；MgO和Al-K數(shù)據(jù)使(shǐ)用2400g/mm光柵
；其餘為1200g/mm像差校(xiào)正的平(píng)場光(guāng)柵(zhà)
；光源(yuán)為(wéi)McPherson無窗空(kōng)心(xīn)陰極燈和軟X射綫（SXR）固(gù)態陽極源。

四(sì)，離平麵（Off Plane）OP-XCT光譜(pǔ)儀(yí)

OP-XCT光譜儀使用環麵鏡和(hé)平(píng)麵光(guāng)柵進(jìn)行(háng)點(diǎn)對點(diǎn)成像，具有固定的入(rù)口和出(chū)口(kǒu)狹縫位(wèi)置，掠入射(shè)離(lí)麵(miàn)光(guāng)學係統(tǒng)效(xiào)率(shuài)高，時間展(zhǎn)寬(kuān)低，成像質(zhì)量好，且易於(yú)使(shǐ)用。當(dāng)作(zuò)為串聯或雙單色(sè)儀(yí)時，滿足時間補償，這對於EUV和(hé)SXR短(duǎn)脈(mài)衝和超快激(jī)光(guāng)的(dí)應(yīng)用(yòng)是(shì)有益(yì)的。光譜範(fàn)圍(wéi)取決於(yú)所(suǒ)選的(dí)衍射光柵——提(tí)供了四塊可(kě)選——通常是8-125nm（10-150eV）。*的非平麵(miàn)光(guāng)柵(zhà)幾何結(jié)構(gòu)提供(gōng)了(liǎo)非常高(gāo)的(dí)衍(yǎn)射效(xiào)率(shuài)。它(tā)在時間(jiān)相關(guān)和(hé)角(jiǎo)度(dù)分(fēn)辨的光電子(zǐ)能譜（ARPES）以及其他高(gāo)能(néng)研(yán)究(jiū)（如pinch，LPP，同步(bù)加(jiā)速(sù)器）中是(shì)一種有(yǒu)效(xiào)的(dí)光(guāng)譜儀。

OP-XCT實(shí)物圖

OP-XCT——SXR，EUV離平(píng)麵(miàn)光譜(pǔ)儀(yí)，主(zhǔ)要特點：

l 點對點(diǎn)成像(xiàng)

l 平(píng)麵，運動(dòng)光柵

l 高(gāo)光通(tōng)量(liáng)

l 掃描(miáo)或CCD探測(cè)

示(shì)例(lì)：發表(biǎo)於(yú)Nature的論文(wén)