準分子激(jī)光器(qì),以準分(fēn)子為(wéi)工作(zuò)物質的(dí)一類(lèi)氣體激光(guāng)器件(jiàn)。常用(yòng)相對(duì)論電子束(shù)(能量大(dà)於200千(qiān)電(diàn)子(zǐ)伏特)或(huò)橫向快速(sù)脈衝放(fàng)電來(lái)實現(xiàn)激勵(lì)。當(dāng)受(shòu)激態準分子(zǐ)的(dí)不(bù)穩(wěn)定分(fēn)子鍵(jiàn)斷(duàn)裂(liè)而(ér)離(lí)解成基態原子時,受(shòu)激態(tài)的能量(liáng)以(yǐ)激(jī)光輻(fú)射(shè)的形式(shì)放出。
第(dì)一(yī)台準(zhǔn)分子激光器(qì)於1970年(nián)誕(dàn)生,它利用(yòng)強電(diàn)子束激勵液(yè)態(tài)氙(xiān),獲得(dé)氙準(zhǔn)分子的激射(shè)作(zuò)用,激(jī)光波(bō)長為1720埃(āi)。隨後,氣相氙分(fēn)子以及其它稀有(yǒu)氣(qì)體(tǐ)準分(fēn)子,稀有(yǒu)氣體氧(yǎng)化(huà)物準(zhǔn)分(fēn)子(zǐ)(氧化(huà)氪(kè),氧化(huà)氙,氧(yǎng)化(huà)氬等),金(jīn)屬(shǔ)蒸氣-稀(xī)有氣(qì)體準(zhǔn)分子(氙化鈉(nà)等(děng));稀有氣(qì)體單(dān)鹵化(huà)物準分子(氟(fú)化氙,氟(fú)化氬,氟化(huà)氪(kè),氯(lǜ)化氙,溴化(huà)氙(xiān),碘(diǎn)化(huà)氙,氯化(huà)氪等(děng)),金屬(shǔ)鹵化物(wù)準分(fēn)子和金屬準分子(鈉(nà)準分(fēn)子等)陸續誕生。準(zhǔn)分子激(jī)光(guāng)物質(zhì)具(jù)有(yǒu)低能態的(dí)排(pái)斥性(xìng),可以把(bǎ)它(tā)有效(xiào)地(dì)抽空(kōng),故無低(dī)態吸收與(yǔ)能量虧損,粒子(zǐ)數反(fǎn)轉很(hěn)容易,增(zēng)益大,轉(zhuǎn)換效率高,重(zhòng)復(fù)率(shuài)高(gāo),輻射波長(cháng)短,主要在紫外和(hé)真空紫(zǐ)外(少數(shù)延伸(shēn)至可見光)區域振(zhèn)蕩,調諧範(fàn)圍較寬。它(tā)在(zài)分離同(tóng)位(wèi)素,紫外(wài)光化(huà)學,激光光(guāng)譜學(xué),快(kuài)速攝(shè)影(yǐng),高(gāo)分(fēn)辨(biàn)率(shuài)全息(xī)術(shù),物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究(jiū),光通(tōng)信(xìn),遙感(gǎn),集成(chéng)光學(xué),非(fēi)綫性光(guāng)學,農(nóng)業(yè),醫學,生(shēng)物(wù)學(xué)以及(jí)泵(bèng)浦(pǔ)可調(tiáo)諧染料(liào)激光器等方麵已獲(huò)得比較(jiào)廣泛的應用,而(ér)且可望(wàng)發(fā)展成為用於核聚變(biàn)的激(jī)光器(qì)件。