棱(léng)鏡耦(ǒu)合(hé)測試儀(yí)采(cǎi)用棱鏡耦合(hé)方(fāng)法(fǎ)測試樣(yàng)品(pǐn)折射(shè)率(shuài)，可測試波長633nm，935nm，1549nm處的(dí)折射率值(zhí)，通過軟(ruǎn)件做(zuò)曲綫耦合科求(qiú)出任何波(bō)段(duàn)的(dí)模(mó)擬值。測(cè)量(liáng)原(yuán)理：待(dài)測樣品通(tōng)過(guò)一個空氣(qì)作用(yòng)的耦合探頭(tóu)與(yǔ)棱(léng)鏡(jìng)基(jī)座(zuò)接(jiē)觸，在薄膜(mó)與(yǔ)棱鏡(jìng)之(zhī)間產生一個(gè)空(kōng)氣狹縫。一(yī)束激光光束(shù)照射(shè)到(dào)棱鏡(jìng)基座上，通常(cháng)會(huì)在基座上全反射進入(rù)光電(diàn)探(tàn)測(cè)器(qì)。在某(mǒu)一(yī)些入(rù)射角(jiǎo)，稱為模式(shì)角(jiǎo)，光(guāng)子(zǐ)向下(xià)穿過空(kōng)氣狹縫進(jìn)入薄膜(mó)，進入一種(zhǒng)被引導的光傳播(bō)模(mó)式(shì)，使到(dào)達(dá)探(tàn)測(cè)器(qì)的光(guāng)強度(dù)大(dà)幅(fú)降(jiàng)低。
棱鏡(jìng)耦合測試儀的技術特點：
1，對折(zhē)射(shè)率(shuài)隨波(bō)長變(biàn)化(huà)不敏感(gǎn)：
每(měi)種薄膜(mó)的折射(shè)率都(dū)隨(suí)波長(cháng)變化。在以分(fēn)光光(guāng)度學為基(jī)礎的技術中，如果(guǒ)沒有(yǒu)精確了解(jiě)薄(báo)膜折(zhē)射(shè)率在(zài)全(quán)波長(cháng)範圍內的變(biàn)化(huà)，就會導致實質(zhì)性的(dí)錯(cuò)誤(wù)。而(ér)且(qiě)，一(yī)些可(kě)變折射(shè)率薄膜(mó)，例(lì)如(rú)等離子(zǐ)氮(dàn)化(huà)矽的折(zhē)射率-波長曲(qū)綫就(jiù)高(gāo)度(dù)依賴(lài)於薄膜(mó)沉澱條件。對於(yú)這些薄膜，Model2010的(dí)單(dān)色測量具(jù)有了一種明顯的(dí)優勢。
2，不必預(yù)先(xiān)知曉薄(báo)膜(mó)厚(hòu)度:
由(yóu)於(yú)橢偏(piān)儀(yí)數據隨(suí)薄(báo)膜(mó)厚度周期(qī)性(xìng)變(biàn)化，橢(tuǒ)圓偏光法要求預(yù)先(xiān)知曉薄膜(mó)厚度(dù)，準確度(dù)為±750to±1250，這取決於薄膜(mó)折射(shè)率。Model2010可(kě)以(yǐ)進行(háng)直接的厚(hòu)度測(cè)量，故不需(xū)要預(yù)先(xiān)知(zhī)曉(xiǎo)薄膜厚度(dù)。
在(zài)某些周期性的(dí)厚(hòu)度(dù)範(fàn)圍(wéi)內不(bù)可(kě)能進行以(yǐ)橢(tuǒ)圓偏(piān)光法為(wéi)基礎的(dí)折射(shè)率(shuài)測量(liáng)。使(shǐ)用Model2010，一(yī)旦薄膜(mó)厚度超過某個最小的(dí)閾值(zhí)（典型(xíng)值為(wéi)3000-4800,取決於(yú)薄膜/基(jī)底材料類型）就可得到*準確(què)的(dí)折(zhē)射率測(cè)量。
3，內部一致性檢測:
如果薄膜(mó)厚(hòu)度超(chāo)過(guò)5000-7500?，將對薄膜厚(hòu)度(dù)和折射(shè)率進(jìn)行多重(zhòng)獨立評(píng)估(gū)，並將這些多重評(píng)估的(dí)標準偏(piān)差顯示(shì)出(chū)來(lái)。隻要這(zhè)些測(cè)量(liáng)標準偏差很低(dī)（典(diǎn)型值(zhí)為(wéi)：厚(hòu)度0.3%，折(zhē)射(shè)率.01%），顯(xiǎn)著誤(wù)差幾(jī)乎不會出(chū)現(xiàn)。目前市麵上還(huán)沒有其(qí)他的技(jì)術(shù)可以就每次(cì)檢測的(dí)正確(què)性(xìng)提(tí)供類似(sì)的“信(xìn)心(xīn)檢測”矽基(jī)上氮(dàn)氧化(huà)物及(jí)矽基上氧化物(wù)的氮(dàn)化物表(biǎo)層的(dí)測量。
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