在(zài)FBG以(yǐ)及其他布拉(lā)格光柵(zhà)刻(kè)寫領(lǐng)域，先鋒(fēng)科(kē)技(jì)可(kě)提供(gōng)深紫外準分(fēn)子激光器，深紫(zǐ)外連續激光器，深紫外準連續(xù)脈衝(chōng)激光(guāng)器以及超(chāo)快(kuài)直寫平(píng)台(tái)。無(wú)論是掩膜(mó)幹涉(shè)刻(kè)寫(xiě)，全息刻寫，深紫外直(zhí)寫(xiě)，超快直寫(xiě)，先(xiān)鋒科(kē)技(jì)都可(kě)為您提供性能(néng)*穩(wěn)定(dìng)，使(shǐ)用成本優(yōu)化(huà)的激光器(qì)。

一，ATL ATLEX-FBG 準分(fēn)子(zǐ)激光器(qì)
ATLEX-FBG為(wéi)德(dé)國ATL公(gōng)司專門為(wéi)FBG光柵刻(kè)寫而(ér)優化的(dí)準(zhǔn)分子激(jī)光器。分布(bù)均(jūn)匀的光斑(bān)，良(liáng)好的相幹(gān)性(xìng)，主動穩定性(xìng)控製，保證了掩膜幹涉(shè)刻(kè)寫的(dí)準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性
；同(tóng)時(shí)，針對(duì)準(zhǔn)分子激(jī)光器的結(jié)構和特(tè)性(xìng)，ATLEX-FBG在(zài)設計製造(zào)時(shí)采(cǎi)用(yòng)係列(liè)*的(dí)技(jì)術，以(yǐ)使減少維(wéi)護(hù)，便(biàn)利(lì)維護，減(jiǎn)少(shǎo)消耗，降低成(chéng)本，增加(jiā)產率。
· 矩形(xíng)平(píng)頂分布光(guāng)斑(bān)，相(xiāng)對於(yú)高斯(sī)光斑更符合加工需求
· >300微米空(kōng)間(jiān)相幹(gān)，強度(dù)，幹(gān)涉(shè)掩膜均(jūn)宜(yí)
· 全金屬陶瓷(cí)腔(qiāng)體，金屬密封，長壽(shòu)命(mìng)
· 軟(ruǎn)暈(yùn)預(yù)電(diàn)離，固態(tài)脈衝(chōng)高壓發生器，確(què)保(bǎo)脈(mài)衝穩定性
· 內置靜(jìng)電粉(fěn)塵吸(xī)附，降低(dī)汙染(rǎn)，延長窗片壽命(mìng)
· 2L容(róng)量氣室，減少消(xiāo)耗
；千(qiān)萬發長(cháng)氣體壽命(mìng)
· 模塊(kuài)式(shì)設計，集成(chéng)真空(kōng)泵(bèng)和鹵素(sù)濾(lǜ)清器(qì)
· 全風冷設計，主(zhǔ)動熱(rè)管(guǎn)理(lǐ)，無需水(shuǐ)冷
· 內(nèi)置能量穩(wěn)定主動(dòng)控製
· 快卸式(shì)鏡架設(shè)計，更(gēng)換(huàn)鏡(jìng)片之後無(wú)需(xū)調(tiáo)節(jié)
· 緊(jǐn)湊體積(jī)，豐富軟(ruǎn)件控製接口

二，LEXEL 85/ 95 係(xì)列離子(zǐ)激光器及(jí)Quantum 8/9 DUV激光器(qì)

在紫外/深紫(zǐ)外全息(xī)，幹涉光刻領域，連續輸出離子(zǐ)激(jī)光器(qì)以(yǐ)其高(gāo)光(guāng)束(shù)品質(zhì)，長(cháng)相(xiāng)幹(gān)長度，豐(fēng)富波(bō)長輸出，仍舊(jiù)是良(liáng)好選擇(zé)。四(sì)十年來LEXEL一直(zhí)專注於高(gāo)功率離子激(jī)光(guāng)器，部分激(jī)光(guāng)管的(dí)運行時間超過兩萬小(xiǎo)時(shí)仍(réng)在正常(cháng)工作
；其(qí)高(gāo)效能陶瓷(cí)氣(qì)體(tǐ)管，固(gù)太(tài)銦鋼腔體確(què)保了(liǎo)激(jī)光器的壽命和(hé)穩定(dìng)性，一(yī)直被模(mó)仿，*。85/95 氬離子激光(guāng)器(qì)係列(liè)提(tí)供351nm - 528nm，*高7W輸(shū)出(chū)
；氪離子激(jī)光器(qì)提(tí)供476nm - 799nm輸出。激光器可(kě)多綫同(tóng)時運(yùn)行(háng)，或可(kě)調諧(xié)的單綫(xiàn)運(yùn)行。
Quantum 8/9 倍(bèi)頻(pín)器采(cǎi)用腔式倍(bèi)頻(pín)，可輸(shū)出高達200mW的深紫外激光(guāng)，非(fēi)常適合全息(xī)光刻(kè)應(yīng)用。新一代(dài)基於(yú)ARM的控製器提(tí)供可視(shì)化的(dí)遠程操作(zuò)，並可快速切換(huàn)倍頻(pín)輸(shū)出(chū)與(yǔ)基(jī)頻(pín)輸(shū)出。

三，Xiton 深紫(zǐ)外固(gù)體(tǐ)脈(mài)衝(chōng)激(jī)光(guāng)器
隨(suí)著固體激光(guāng)技術(shù)的發展，采(cǎi)用固(gù)體激(jī)光器非綫(xiàn)性(xìng)高次諧(xié)波輸出的深(shēn)紫(zǐ)外激(jī)光(guāng)器逐(zhú)漸進(jìn)入深紫(zǐ)外加(jiā)工(gōng)應用領(lǐng)域。固體(tǐ)激(jī)光器壽(shòu)命長，穩(wěn)定(dìng)性好，免(miǎn)維護，無(wú)耗(hào)材，體積緊(jǐn)湊，能耗低，在(zài)工(gōng)業和實驗室應用均(jūn)具備優勢(shì)。
Xiton專業生產(chǎn)納秒脈(mài)衝，高重頻，準連續(xù)，窄(zhǎi)綫寬(kuān)激光(guāng)器，尤(yóu)為特色的(dí)是(shì)提供193，213，224，266，355nm等多個波長深紫外，紫(zǐ)外(wài)輸(shū)出(chū)，具(jù)備光(guāng)束質(zhì)量(liáng)，長相幹(gān)長(cháng)度，平均功(gōng)率可(kě)達(dá)數百(bǎi)毫瓦，在(zài)部分場景(jǐng)可替代(dài)氣(qì)體激光器(qì)作(zuò)為FBG刻寫(xiě)光(guāng)源(yuán)
；同時，納(nà)秒(miǎo)脈衝所具備的(dí)高(gāo)峰值(zhí)功(gōng)率，以及(jí)TEM00光束(shù)模式所帶來(lái)的高(gāo)聚(jù)焦功率密度(dù)，使得這係(xì)列激光器(qì)也(yě)可用(yòng)於(yú)FBG的紫外直(zhí)寫(xiě)。

Xiton適合FBG刻寫以及其(qí)它布拉格光柵刻(kè)寫(xiě)的(dí)深(shēn)紫外(wài)/紫(zǐ)外激(jī)光(guāng)器主要(yào)有iXION係列(liè)，SLM係(xì)列，Excite係列(liè)，Impress係列等(děng)。

IMPRESS213 FBG刻寫(xiě)實例(lì)：
 
四(sì)，超快激光(guāng)FBG直寫平台
超快激光在透明材料(liào)內(nèi)直接刻(kè)寫微納結(jié)構是(shì)近年(nián)發(fā)展起來的熱(rè)門(mén)應用(yòng)。針對於FBG，超(chāo)快直(zhí)寫可以穿(chuān)透(tòu)光纖覆(fù)層(céng)直(zhí)接(jiē)在纖芯(xīn)構建(jiàn)折(zhē)射率結(jié)構，無需(xū)破(pò)壞(huài)覆(fù)層，無(wú)需(xū)載氫，刻(kè)寫的(dí)FBG具備(bèi)耐高(gāo)溫高濕及(jí)長壽命的特征，而(ér)且可以隨(suí)意製訂(dìng)調(tiáo)製深(shēn)度(dù)，結構尺寸(cùn)，光柵周期及其變(biàn)化。同時(shí)，更(gēng)可(kě)以靈(líng)活的刻寫平麵波(bō)導(dǎo)光柵，二維(wéi)光柵(zhà)，體光(guāng)柵(zhà)等立(lì)體(tǐ)結構，具備(bèi)非常(cháng)廣闊(kuò)的應(yīng)用(yòng)潛力。

SpeaRay Bragg為(wéi)專(zhuān)為FBG超(chāo)快直寫設計(jì)的超快微(wēi)加(jiā)工(gōng)係統(tǒng)，配置高穩(wěn)定(dìng)花(huā)崗岩龍(lóng)門架結(jié)構，高精(jīng)度大行程平(píng)移台，實時成像監控光(guāng)路，可(kě)實(shí)現石(shí)英玻璃(lí)內(nèi)高(gāo)達0.45的折射(shè)率(shuài)變(biàn)化(huà)以及150nm尺度以下(xià)的(dí)低(dī)散(sàn)射布(bù)拉格點刻寫，可用於(yú)FBG刻寫，波導光柵刻(kè)寫，VBG刻寫(xiě)，啁啾FBG直寫(xiě)等加(jiā)工。
應用示例