準(zhǔn)分子(zǐ)激光(guāng)器(qì)激光用於(yú)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)處理(lǐ)，特(tè)別(bié)是(shì)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)表(biǎo)麵(miàn)退(tuì)火，是一(yī)種有(yǒu)希(xī)望(wàng)的應用，潛(qián)在(zài)的市場(cháng)是很大(dà)的。激光處理比常規(guī)熱處理的(dí)優點是能(néng)夠紡(fǎng)織(zhī)退火期(qī)間(jiān)參(cān)雜(zá)劑(jì)的(dí)再分布(bù)，同(tóng)事(shì)保持適(shì)當的再結(jié)晶和(hé)參雜(zá)劑(jì)活(huó)化(huà)。準(zhǔn)分(fēn)子激(jī)光能對(duì)樣品均(jūn)匀照射，而(ér)且準(zhǔn)分子激(jī)光(guāng)的(dí)光譜相(xiāng)當的寬，因而相幹長度相當短，使得樣品中(zhōng)的幹(gān)涉效(xiào)應減(jiǎn)，而(ér)在(zài)以(yǐ)往的激光退火中(zhōng)，這時難以解(jiě)決的(dí)問題。準分子(zǐ)激(jī)光的(dí)紫外波長很適於退(tuì)火(huǒ)樣品的薄(báo)層穿(chuān)透(tòu)，準分(fēn)子激光還(huán)可(kě)以(yǐ)聚焦(jiāo)成(chéng)微(wēi)米級(jí)尺寸(cùn)進行材料處理。

 

    準分子(zǐ)激(jī)光器(qì)的特點(diǎn)：

 

    1，準(zhǔn)分子以(yǐ)激發(fā)態(tài)形式存在，壽命很短，僅(jǐn)有(yǒu)10的-8次方(fāng)S量(liáng)級，基(jī)態(tài)為10的-13次方S量級，躍(yuè)遷(qiān)發生在低激發態和排(pái)斥的(dí)基態（或弱束(shù)縛）之(zhī)間，其熒光譜(pǔ)為(wéi)一連續(xù)帶(dài)。

 

    2，由於其熒(yíng)光譜(pǔ)為一連(lián)續帶，故可以(yǐ)實(shí)現波長(cháng)可調諧(xié)運(yùn)轉(zhuǎn)。

 

    3，由於(yú)激光躍(yuè)遷(qiān)的下(xià)能級（基態）的(dí)離(lí)子(zǐ)迅(xùn)速離(lí)解(jiě)，激(jī)光(guāng)下(xià)能級基(jī)本為空的，易實現粒(lì)子(zǐ)數反轉，因(yīn)此(cǐ)量子(zǐ)效率(shuài)很(hěn)高，接近100%，且可以高(gāo)重復頻率運轉。

 

    4，輸出(chū)激(jī)光波(bō)長(cháng)主(zhǔ)要在紫外(wài)綫(xiàn)到可(kě)見(jiàn)光段，波長短，頻率高，能量大(dà)，焦斑小，加工(gōng)分(fēn)辨率高(gāo)，適(shì)合(hé)用於高質量(liáng)的激光加工。

 

    利(lì)用(yòng)準分子激光(guāng)的(dí)良好(hǎo)聚焦(jiāo)作用，通(tōng)過激光(guāng)引發(fā)光化反(fǎn)應，使表(biǎo)麵出(chū)現(xiàn)微米(mǐ)量(liáng)級的沉(chén)澱(diàn)或蝕(shí)刻。例如，用波長為(wéi)193毫微(wēi)米的氟化(huà)氬準分子(zǐ)激光在樣(yàng)品表麵光解三氯(lǜ)化(huà)硼，已(yǐ)經實現了(liǎo)單晶矽(guī)和(hé)多晶矽的(dí)摻(chān)雜。此(cǐ)外，用(yòng)脈(mài)寬(kuān)為(wéi)7豪(háo)微秒(miǎo)的(dí)準(zhǔn)分子激光(guāng)瞬(shùn)間熔化(huà)表(biǎo)麵，可(kě)使摻雜劑(jì)擴(kuò)散(sàn)到幾(jī)千(qiān)埃(āi)的深度並使摻雜劑*活(huó)化(huà)。采(cǎi)用這(zhè)種技術(shù)製(zhì)造(zào)的(dí)太陽能電池(chí)，轉換效(xiào)率約(yuē)為13-14%。

 

    準(zhǔn)分(fēn)子激光器在醫學領域使用：

 

    在醫學領域中使(shǐ)用的(dí)激光器(qì)種類非常(cháng)多(duō)，常用(yòng)於眼(yǎn)科(kē)治(zhì)療的(dí)主要有紅寶(bǎo)石(shí)激光，氬離(lí)子激(jī)光，氪離子，染(rǎn)料激(jī)光，摻釹釔鋁石榴(liú)石激(jī)光(guāng)和(hé)氟化氬(yà)準分(fēn)子激(jī)光(guāng)等固(gù)體，氣體和液(yè)體的(dí)激(jī)光器，用(yòng)連續的，脈衝的和調(tiáo)Q的(dí)方式(shì)，治(zhì)療(liáo)眼(yǎn)底部(bù)色(sè)素膜和屈(qū)光(guāng)間質(zhì)等(děng)部位的(dí)數(shù)十種(zhǒng)有(yǒu)關(guān)眼部疾病(bìng)。

 

    眼科使用(yòng)的準分(fēn)子(zǐ)激光， 是以(yǐ)氬氣(qì)和(hé)氟氣為(wéi)工(gōng)作氣體(tǐ)產(chǎn)生(shēng)的激光。所(suǒ)謂(wèi)準分子(zǐ)激光(guāng)，是(shì)指(zhǐ)受激二(èr)聚(jù)體所產(chǎn)生的(dí)激(jī)光，波(bō)長(cháng)範圍為157～353nm，所屬紫外激(jī)光(guāng)波段。用於臨床(chuáng)的(dí)氟(fú)化氬混(hùn)合物(wù)產生的波長為(wéi)193nm的(dí)超紫(zǐ)外(wài)冷(lěng)激(jī)光。

 

    波長為193nm的ArF準分子激光，進(jìn)行屈光手術的機理(lǐ)就是光化學效應。準分(fēn)子(zǐ)激光單(dān)個(gè)光子的能(néng)量大(dà)約是(shì)6.4eV，而(ér)角膜(mó)組(zǔ)織中肽鍵(jiàn)與碳(tàn)分子鍵的結合能量僅為3.6eV。當其高能量(liáng)的(dí)光(guāng)子照(zhào)射到角膜，直接將組織內的(dí)分(fēn)子鍵(jiàn)打斷(duàn)，導(dǎo)致(zhì)角(jiǎo)膜組織碎裂而(ér)達到消融切(qiē)割組(zǔ)織的目的(dí)，並(bìng)且由於準(zhǔn)分(fēn)子激(jī)光脈(mài)寬短，又是光化(huà)學效(xiào)應切除(chú)。因(yīn)此，對切(qiē)除(chú)周圍(wéi)組(zǔ)織的機械損(sǔn)傷和(hé)熱(rè)損傷小。

 

    用(yòng)這(zhè)種刀施行光切術，其切(qiē)割精度(dù)可(kě)達(dá)到(dào)μm級，其刀口損(sǔn)傷範圍(wéi)僅(jǐn)達nm級，而(ér)且由於(yú)無熱效應(yīng)而(ér)不會(huì)損(sǔn)傷(shāng)鄰(lín)近(jìn)組織。所(suǒ)以(yǐ)現已(yǐ)運用(yòng)於(yú)角膜(mó)手術，如(rú)角膜(mó)屈(qū)光手(shǒu)術(shù)，角(jiǎo)膜疤痕去除等。