準分(fēn)子激(jī)光(guāng)器激光用(yòng)於(yú)半導體處(chǔ)理(lǐ)，特(tè)別是(shì)半導體表(biǎo)麵(miàn)退(tuì)火，是(shì)一(yī)種有希望(wàng)的(dí)應用(yòng)，潛在的市場(cháng)是很(hěn)大(dà)的。激(jī)光(guāng)處理(lǐ)比常規(guī)熱處(chǔ)理的優點(diǎn)是能(néng)夠(gòu)紡織(zhī)退(tuì)火(huǒ)期(qī)間參(cān)雜(zá)劑(jì)的再(zài)分(fēn)布(bù)，同事保持(chí)適(shì)當的(dí)再結晶(jīng)和(hé)參(cān)雜劑活(huó)化。準分子激光能(néng)對樣品均(jūn)匀照射(shè)，而(ér)且準分子(zǐ)激光(guāng)的光譜相(xiāng)當(dāng)的寬(kuān)，因(yīn)而相幹長度相當(dāng)短，使得(dé)樣品(pǐn)中的幹涉效(xiào)應減到zui小，而(ér)在(zài)以往(wǎng)的激光退火中，這時(shí)難以解(jiě)決(jué)的(dí)問(wèn)題(tí)。準(zhǔn)分(fēn)子激光的紫外(wài)波長很適於(yú)退火樣品(pǐn)的薄層穿透(tòu)，準(zhǔn)分子激(jī)光還可(kě)以聚(jù)焦(jiāo)成微米級尺(chǐ)寸進行材(cái)料(liào)處(chǔ)理(lǐ)。

    利(lì)用準分子激光的良好(hǎo)聚(jù)焦(jiāo)作(zuò)用(yòng)，通過(guò)激光(guāng)引發光化反應，使表(biǎo)麵出現微米量級的沉澱或蝕(shí)刻(kè)。例如，用波(bō)長為193毫(háo)微米(mǐ)的氟(fú)化(huà)氬準(zhǔn)分子(zǐ)激(jī)光(guāng)在樣品表(biǎo)麵光(guāng)解三(sān)氯(lǜ)化硼(péng)，已(yǐ)經(jīng)實(shí)現了單(dān)晶矽和(hé)多晶(jīng)矽的摻(chān)雜(zá)。此外(wài)，用脈寬(kuān)為7豪微秒(miǎo)的(dí)準分(fēn)子(zǐ)激光(guāng)瞬間熔(róng)化(huà)表麵，可使摻雜(zá)劑擴(kuò)散到幾千埃的(dí)深(shēn)度並使摻雜(zá)劑*活(huó)化。采(cǎi)用(yòng)這種(zhǒng)技術製(zhì)造(zào)的太(tài)陽(yáng)能(néng)電(diàn)池(chí)，轉換效(xiào)率約(yuē)為13-14%。

    準(zhǔn)分子(zǐ)激光(guāng)器在醫學領域(yù)使(shǐ)用(yòng)：

    在(zài)醫學領域(yù)中(zhōng)使用的(dí)激光器種類(lèi)非(fēi)常(cháng)多(duō),常(cháng)用於眼(yǎn)科治療的主(zhǔ)要(yào)有紅寶(bǎo)石(shí)激(jī)光(guāng)，氬(yà)離子激光，氪離子(zǐ)，染(rǎn)料激(jī)光，摻釹釔(yǐ)鋁石榴石(shí)激光和氟(fú)化(huà)氬準分(fēn)子激(jī)光等(děng)固體，氣體和液體的激光器，用(yòng)連續(xù)的，脈衝(chōng)的和(hé)調Q的方式(shì)，治療(liáo)眼底部色素膜和屈光(guāng)間質等(děng)部位(wèi)的(dí)數十種有關(guān)眼部(bù)疾(jí)病。

    眼科(kē)使用的準(zhǔn)分子(zǐ)激(jī)光, 是以(yǐ)氬(yà)氣(qì)和(hé)氟(fú)氣為(wéi)工作(zuò)氣體(tǐ)產(chǎn)生(shēng)的激(jī)光。所謂(wèi)準(zhǔn)分子激光(guāng)，是指(zhǐ)受(shòu)激(jī)二(èr)聚體所(suǒ)產生的(dí)激(jī)光，波(bō)長(cháng)範圍為157～353nm，所(suǒ)屬(shǔ)紫外激光波段(duàn)。用於(yú)臨床的氟(fú)化(huà)氬混合物產生的波長(cháng)為(wéi)193nm的(dí)超(chāo)紫外冷(lěng)激光。

    波長為193nm的ArF準分子激光，進行(háng)屈光(guāng)手(shǒu)術(shù)的機理就(jiù)是(shì)光(guāng)化(huà)學效(xiào)應(yīng)。準(zhǔn)分子激(jī)光(guāng)單個(gè)光子的能量(liáng)大(dà)約是6.4eV，而角膜(mó)組(zǔ)織中(zhōng)肽鍵(jiàn)與碳分(fēn)子鍵(jiàn)的(dí)結合能(néng)量僅為3.6eV。當其高(gāo)能量(liáng)的光(guāng)子照射到角(jiǎo)膜，直接(jiē)將(jiāng)組(zǔ)織內(nèi)的(dí)分子(zǐ)鍵打(dǎ)斷(duàn)，導(dǎo)致角(jiǎo)膜組織碎(suì)裂(liè)而達到(dào)消融切割(gē)組織的(dí)目(mù)的(dí)，並且由於準分(fēn)子(zǐ)激光(guāng)脈寬短(duǎn)，又(yòu)是(shì)光化(huà)學效(xiào)應切除。因(yīn)此(cǐ)，對(duì)切(qiē)除周(zhōu)圍(wéi)組織(zhī)的機械損傷(shāng)和熱(rè)損(sǔn)傷(shāng)小。

    用這(zhè)種刀施行光切(qiē)術,其(qí)切(qiē)割(gē)精(jīng)度(dù)可達到μm級(jí),其刀口(kǒu)損傷(shāng)範(fàn)圍(wéi)僅達(dá)nm級(jí),而且(qiě)由(yóu)於無(wú)熱(rè)效(xiào)應而(ér)不(bù)會(huì)損傷鄰(lín)近(jìn)組(zǔ)織(zhī)。所以(yǐ)現已運(yùn)用於(yú)角膜手(shǒu)術，如(rú)角膜(mó)屈光手術(shù)，角膜疤痕(hén)去(qù)除等(děng)。